鏡片，輸出耦合器和鏡頭

圖1：157nm的激光鏡（AOI = 0°，a）和轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°，b）的測量反射率和透射光譜

Ø•激光鏡：AO = 0°時R = 92 ... 95％

Ø•轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）：

Øo盧比> 97％

Øo Rp> 90％

Øo Rr> 92％

Ø•高品質(zhì)的鏡面基板，窗戶和CaF2透鏡（157nm準分子級質(zhì)量，SCHOTT AG）

Ø•具有公差的PR涂層

Ø對于R = 10 ... 30％，±2％

Ø對于R = 30 ... 75％，o±3％

Øo±2％，R = 75 ... 90％

Ø•根據(jù)要求開發(fā)和生產(chǎn)客戶特定部件作為分束器和可變衰減器

圖2：R = 50±3％，R = 25±2％（背面未涂布）的標準輸出耦合器的測量反射光譜

Variable Attenuators

可變衰減器

圖3：不同AOI（a）和透射率與AOI（b）的可變衰減器的測量透射光譜;

在AOI = 0°時，透射率從T> 75％變化到AOI = 45°時的T <5％

F2激光鋁鏡

圖4：受保護的Al鏡（a）的反射光譜和157nm的增強型Al鏡（b）

受保護的鋁鏡（針對157nm進行了優(yōu)化）：R = 74 ... 78％

電介質(zhì)增強型鋁鏡：AOI = 0°時R = 94％

有關(guān)Al鏡的更多信息，請參閱我們的目錄中的第96 - 97頁。

標準F2激光元件的技術(shù)參數(shù)

*能量密度：25mJ / cm2，重復(fù)頻率：800Hz，脈沖持續(xù)時間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

**能量密度：15mJ / cm 2， 速率：200Hz，脈沖持續(xù)時間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進行測試

***能量密度：20 mJ / cm2， 速率：50Hz，脈沖持續(xù)時間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進行測試

反射鏡，輸出耦合器和鏡頭

圖1：隨機的193nm的轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）的測量反射率和透射光譜

偏振光（a）和兩面用氟化AR涂層涂覆193nm的CaF 2窗（b）

•所有氟化物系統(tǒng)都能保證高反射率和高損傷閾值

•PR涂層，公差為：

對于R = 10 ... 30％，±2％

對于R = 30 ... 75％，±±3％

對于R = 75 ... 90％，±±2％

o±1％，R> 90％

•高品質(zhì)的鏡面基板，窗口和CaF2（193nm準分子級，肖特公司）鏡頭和熔融石英

•根據(jù)要求開發(fā)和生產(chǎn)客戶特定的組件，如分束器和可變衰減器

•在AOI = 0°時殘余反射率R <0.25％，AOI = 45°時R <0.6％的單波長AR涂層（非偏振光）

•寬帶和多波長AR涂層

可變衰減器

圖2：不同AOI（a）和透射率與AOI（b）的可變衰減器的測量透射光譜;

在AOI = 0°時，透射率從T> 88％變化到AOI = 45°時的T <2％

•根據(jù)要求具有不同傳輸范圍的衰減器

•衰減器可以交付熔融石英的CaF2的AR涂層補償板

鋁反射鏡

圖3：針對193nm（a）優(yōu)化的受保護的Al鏡的測量反射光譜

和193nm的增強型Al鏡，AOI = 45°（b）

標準ArF激光元件的技術(shù)參數(shù)

1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進行了測量

2）能量密度：18mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進行測試

3）能量密度：55mJ / cm 2，重復(fù)率：1kHZ，脈沖持續(xù)時間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

4）能量密度：27mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進行測試

5）能量密度：80mJ / cm 2，重復(fù)頻率：1kHz，脈沖持續(xù)時間：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進行測試

Mirrors and Partial Reflectors

•HR空腔和轉(zhuǎn)向鏡，AOI = 0°時R> 99.9％，對于s-和p-偏振光，AOI = 45°

•典型反射率：R> 99.95％

•對于特殊要求，我們保證R> 99.99％（帶腔環(huán)測量的交貨）

•光譜帶寬約70 nm，1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2（cw）和> 50J / cm2（10 ns）

圖1：具有不同程度的反射率的高功率腔鏡（a）和輸出耦合器的反射光譜（b）

光束分離器和輸出耦合器具有調(diào)節(jié)的反射率

•泵鏡HR（0°，1064 nm）> 99.9％+ R（0°，808 nm）<2％

•分束器，光束組合器和掃描鏡

•Nd：YAG / Nd：YVO4激光器的諧波光學(xué)在這里和這里（也在我們的目錄中的第40-45頁）

圖2：s - ，p - 和隨機極化的導(dǎo)向反射鏡HR（1064 nm）+ PR（630 - 670 nm）的反射光譜

在AOI = 45°（a）和不同AOI處的隨機極化（用作掃描鏡）（b）

薄膜偏光鏡

•光的s和p偏振分量的分離（s偏振光被反射并且p偏振光被透射）

•可以為AOI> 40°生產(chǎn)TFP，但是如果使用AOI≈55°（布魯斯特角），則極化有效，出現(xiàn)在寬波長范圍

•典型偏振比：AOI = 45°或55°時，Tp / Ts> 500

•具有Tp / Ts10000的極化比的特殊設(shè)計是可能的

•高激光損傷閾值（對腔內(nèi)應(yīng)用有用）

•通過改進的空腔環(huán)形設(shè)置可以高精度地測量用于p偏振光的薄膜偏振器的透射

圖3：對于s和p偏振光，AOI = 55°（布魯斯特角）的標準TFP的反射光譜

非極化光束分離器

•對于AOI = 45°的Rs?Rp（| Rs-Rp | <1.5％）和不同程度的反射率的分束器

•常見的類型：

o Rs，p = 66±1％

o Rs，p = 50±2％

o Rs，p = 33±3％

•所有非極化分束器，后側(cè)AR（Rs?Rp≤0.6％）

圖4：3種非極化光束分離器的反射光譜（AOI = 45°）